Проведено порівняльний аналіз процесів двійникування в зернах легованих фосфором рівноосьових плівок полікремнію та двійникових орієнтацій (Е3, Е9, Е27)[подано формулу] між зернами при відпалюванні в інтервалі температур 1040 - 11200 C. Розглянуто впливрозщеплення міжзеренних границь та множинного двійникування на характеристики двійникових границь при різних температурах відпалювання.
Ключові слова: полікремнієві плівки, структура, двійникування, просвічуюча електронна мікроскопія.
The comparison analysis of the twinning process occurring within grains of phosphorus-doped polysilicon films and the twin orientations (E3, E9, E27) [...] between grains under annealing in the temperature range 1040 - 11200 С has been carried out. The influence of the splitting of low-angle grain boundaries and multiple twinning on characteristics of twin boundaries at different annealing temperatures has been considered.
Key Words: polysilicon films, structure, twinning, transmission electron microscopy.
