Зведений каталог бібліотек Києва

 

МакарецьмвМакарець, М. В.
    Кумулянтне представлення розподілів імплантованих іонів [Текст] / М.В. Макарець // Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. — Київ : ВПЦ "Київський університет", 2006. — 2006. — С. 24-26.


- Ключові слова:

іонна імплантація, ионная имплантация

- Анотація:

Одержано формальне інтегральне представлення функції просторового розподілу імплантованих іонів через кумулянти. Розглянуто вирази для різних умов імплантації та проведено аналіз впливу вищих кумулянтів на форму розподілу. Показано, що їх можна врахувати наближено, змінюючи скісність та ексцес розподілу, а тому розподіл іонів можна наближено описати за допомогою чотирьох моментів: проективного пробігу, страглінгу, скісності та ексцесу.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка   Перейти на сайт