| 
		
 
- 
Ключові слова: 
 
  
оптична спектроскопія, оптическая спектроскопия ; інтерференція (лінгвістика), интерференция, interference ; спектри випромінювання, спектры излучения
 
- 
Анотація: 
  
Розвинуто метод аналізу спектрів відбиття, які мають смуги інтерференційного походження, для тонких поруватих наноструктурних шарів на кремнієвій пластині. Автоматичне обладнання дозволило досліджувати оптичні характеристики (коефіцієнт відбиття та коефіцієнт заломлення) у видимому та найближчому інфрачервоному (400-1100 nm) та інфрачервоному (350-4000 см[у мінус першому ступені]) діапазоні в поруватому кремнії, поруватому СоSi[нижній індекс 2] та поруватому Al[нижній індекс 2]O[нижній індекс 3] шарах.Спектри відбиття, що реєструвались під різними кутами падіння, дозволили визначити одночасно коефіцієнт заломлення та товщину шару. ТЕМ, AFM та IR спектроскопічні дослідження цих шарів підтвердили наявність кремнієвих нанокристалів.
 
 
		
- 
Є складовою частиною документа:
 
- 
Теми документа 
 
  
	- 
		Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
		
	
 
 
 
 
 
 |