-
Ключові слова:
оптична спектроскопія, оптическая спектроскопия ; інтерференція (лінгвістика), интерференция, interference ; спектри випромінювання, спектры излучения
-
Анотація:
Розвинуто метод аналізу спектрів відбиття, які мають смуги інтерференційного походження, для тонких поруватих наноструктурних шарів на кремнієвій пластині. Автоматичне обладнання дозволило досліджувати оптичні характеристики (коефіцієнт відбиття та коефіцієнт заломлення) у видимому та найближчому інфрачервоному (400-1100 nm) та інфрачервоному (350-4000 см[у мінус першому ступені]) діапазоні в поруватому кремнії, поруватому СоSi[нижній індекс 2] та поруватому Al[нижній індекс 2]O[нижній індекс 3] шарах.Спектри відбиття, що реєструвались під різними кутами падіння, дозволили визначити одночасно коефіцієнт заломлення та товщину шару. ТЕМ, AFM та IR спектроскопічні дослідження цих шарів підтвердили наявність кремнієвих нанокристалів.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|