кремній, кремний ; оптимізація, оптимизация, optimization ; тонкоплівкові напівпровідникові структури

В даній роботі проведено комп"ютерне 2D моделювання, експериментальне виготовлення та тестування кремнієвих сонячних елементів з тильними гребінчастими контактами на епітаксійній підкладинці. Це дозволило оптимізувати геометричні параметри легованих областей. Запропоновано нову схему виготовлення таких елементів на основі використання одного фотолітографічного процесу, яка дозволяє значно спростити процес виготовлення елементів і, водночас, відповідає оптимальним параметрам щодо геометрії легованих областей.

Вісник Київського університету [Текст]. — Київ, 2000. — 2000. — 549 с.

• Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ