Опис документа

За допомогою методів вторинної іонної мас-спектрометрії та рентгенівської фотоелектронної спектроскопії вивчалися зміни хімічного складу люмінесцентних зразків пористого кремнію (ПК) при зберіганні в атмосферному оточенні, а також вплив післяанодної обробки в плавиковій кислоті на процес старіння. Було виявлено, що інтенсивність фотолюмінесценції ПК зростає зі збільшенням ступеня окислення зразка. Зразок з високим ступенем окислення вміщує як діоксид кремнію в приповерхневій області зразка, так і субоксиди в глибших шарах. Основним результатом короткочасної обробки зразків в НF виявилося суттєве прискорення процесу окислення ПК.