|
-
Ключові слова:
газові сенсори, газовый сенсор ; кремній, кремний ; метали, металлы, metal ; напівпровідникові гетероструктури
-
Анотація:
Досліджено вплив структури проміжного шару купратного оксиду на електроадсорбційні властивості поверхнево-бар"єрних структур метал-кремній. В гетероструктурах з відкритою системою пор в оксидному шарі чутливість до впливу газового середовища парів води визначається як зміною опору проміжного шару, так і зміною висоти потенційного бар"єру.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
