атомна спектроскопія ; полікремній, поликремний

Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопії досліджено морфологічні особливості, поверхневі неоднорідності та стики границь зерен в легованих фосфором полікремнієвих плівках з рівноосьовою структурою, що відпалені при високих температурах (>1000[градусів]С), в залежності від типу початкової структури плівок: рівноосьової та дендритної. Проаналізовано механізми формування стиків зерен для плівок з різною структурою.

Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка [Текст]. — Київ : Київський університет, 2004. — 2004. — 550 с.

• Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ