нанокомпозити, нанокомпозиты ; термічна переробка, термическая переработка ; тонкі плівки, тонкие пленки, thin films

Досліджено вплив термічної обробки на структуру та механічні властивості нанокомпозитних тонких плівок на основі TiAlSiN. Показано, що в результаті термообробки твердість нанокомпозитів, збагачених алюмінієм, зростає (приблизно на 30 %) в той час, як величина твердості для матеріалів з більшим вмістом титану залишається практично незмінною. Цей факт пояснюється перетворенням ГЦК-фази AlN до гексагональної фази AlN.

Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка [Текст]. — Київ : Київський університет, 2004. — 2004. — 550 с.

• Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ