|
Автор: Makara V.A., Melnichenko M.M., Svezhentsova K.V., Shmyryeva O.M., Kulik S.P., Lendel V.V.
-
Ключові слова:
кристалічні структури, кристаллические структуры ; оптичні властивості, оптические свойства ; поруватий кремній, пористый кремний ; фізика напівпровідників, физика полупроводников ; вирощування кристалів напівпровідників, выращивание кристаллов полупроводников
-
Анотація:
Ультратонкі шари поруватого кремнію (ПК) на мультикристалічному кремнію отримані методом хімічного травлення. Оптичні та структурні властивості цих шарів вивчалися методами фотолюмінесценції, збудження люмінесценції, відбивання, атомно силової та скануючої тунельної мікроскопії. Встановлено, що товщина ПК не перевищує 20 нм. Метод фотолюмінесценції показав, що спектри фотолюмінесценції ПК від різних зерен відрізняються по інтенсивності несуттєво (-10%). Знайдено, що ПК з найкращими антивідбиваючими характеристиками отримується при часі травлення 7 хв. В роботі проведено порівняння відбиваючих характеристик зразків ПК з промисловим антивідбиваючим покриттям.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
