Методом просвічуючої електронної мікроскопії досліджено вплив температури відпалювання на фасетування вершин двійникових прошарків в зернах попікремнієвих плівок, що отримані методом хімічного осадження в реакторі зниженого тиску. Встановлено що типи фасеток визначаються температурою відпалювання.
Ключові слова: полікремнієві плівки; двійникові границі, фасетування.
The faceting of the tip of twin plates inside grains of polysilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has beeninvestigated by transmission electron microscopy. It has been shown that the type of facets change depending on the annealing temperature.
Key words: polysilicon films, twin boundaries, faceting.
