Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопи досліджено особливості стиків границь зерен та поверхневі неоднорідності в нелегованих та легованих фосфором полікремнієвш плівках з дендритною структурою. Проаналізована роль фосфору у формуванні стиків границь зерен.
Ключові слова: полікремнієві плівки; структура; стики зерен; атомна силова мікроскопія; просвічуюча електронна мікроскопія.
Atomic force microscope and transmission electron microscopy were used for the investigation of grain boundaries joints and surface roughness in undoped and phosphorus doped dendritic polysilicon films. The effect of phosphorus in the formation of grain boundaries joints have been analyzed.
Key Words: polysilicon films; structure; jointsof grain boundaries; atomic force microscopy; transmission electron microscopy.
