комп"ютерне моделювання, компьютерное моделирование ; функція розподілу електронів (ФРЕ), функция распределения электронов (ФРЭ)
Шляхом комп"ютерного моделювання комбінованим методом крупних частинок у комірках - Монте-Карло досліджено еволюцію функцій розподілу електронів та іонів за енергіями у мікроплазмовому розряді всередині копланарної діелектричної комірки розмірами 700х200 мкм для різних прикладених напруг. Для більшої частини електронів справедливий розподіл Максвелла, існує також певна додаткова кількість нерівноважних електронів. Для іонів із досить великою точністю справедливий розподіл Дрюйвейстейна. В оптимальному діапазоні прикладених напруг (210-250 В) розряд має найвищу енергетичну ефективність з точки зору випромінювання ультрафіолетових квантів.
Evolution of the electrons' and ions' energy distribution functions for the microplasma discharge inside coplanar dielectric cell with 700x200 ?m size was studied at various applied voltages via computer simulation with combined large particles-in-cells - Monte Carlo method. For most of electrons, Maxwellian distribution is applicable but some portion of additional non-equilibrium electrons also exists. For ions, Dryuvesteynian distribution is applicable with good accuracy. In the optimal applied voltages band (210-250 V), discharge has highest energetic efficacy in aspect of the ultraviolet photons' radiation.
