|
-
Ключові слова:
діагностика, диагностика ; електронні схеми, электронные схемы ; зондування, зондирование ; мікроелектроніка, микроэлектроника, mikroelektronika
-
Анотація:
Дано короткий огляд проблем, що виникають при використанні корпускулярно-променевої діагностики поверхні та деяких проблем мікромініатюризації електронних схем. Найбільша увага приділяється методам електронно-зондової діагностики, ролі пружного розсіяння та багато електронним процесам. Огляд закінчується аналізом напрямків подальшого розвитку мікромініатюризації.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
