Автор: Горчинський О.Д., Бєлоусов І.В., Занкович С.М., Пуцелик C.O., Назарок Ю.Г., Бузанева Є.В.
-
Ключові слова:
наночастинки, наночастицы ; спектроскопія, спектроскопия, spectroscopy
-
Анотація:
Метод імплантації іонів Со в кремній і відпал при температурах, які сприяють збиранню Со в преципітати та формуванню частинок Со/СоSi2 наночастинок та кремнієвих наночастинок між ними. З аналізу ТЕМ поперечного перерізу кремнієвих пластин було доведено,що нанодрот формується вздовж поверхневого шару та паралельно йому на глибині, що дорівнює глибині проникнення іонів Со з енергією 80кеВ у кремній (-100 нм). Розмір Со/СоSi2 наночастинок змінюється від 15 до 60 нм, а розмір наночастинок кремнію між нимивід 5 до 30 нм.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|