Зведений каталог бібліотек Києва
НовиковmmНовиков, M. M. Оцінка середніх дифракційних характеристик, порушених обробкою шарів кремнію [Текст] / M.M. Новиков, В.Г. Сушко // Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. — Київ : Київський університет, 2000. — 2000. — С. 50-55.
- Ключові слова:
- Анотація:
За допомогою три кристального дифрактометра експериментально досліджено розсіяння рентгенівських променів кристалами кремнію з механічно порушеним поверхневим шаром. На основі сучасної моделі динамічного розсіяння написано відповідні рівняння й підраховано величини усереднених параметрів порушеного шару: його глибина, фактор Дебая - Валлера, коефіцієнти ефективного поглинання брегівської і дифузної складових повної інтегральної відбивної здатності. Зроблено оцінку розмірів розсіюючи випромінювання центрів.
- Є складовою частиною документа:
Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка [Текст]. — Київ : Київський університет, 2000. — 2000. — 75 с.
- Теми документа