621.3 | Ново | Новосядлий, Степан Петрович. Суб- і наномікронна технологія структур великих інтегральних схем [Текст] : монографія / Новосядлий С.П. ; МОНУ ; Прикарпатський нац. ун-т ім. В. Стефаника. — Івано-Франківськ : Місто НВ, 2010. — 456 с. |
| ISBN 978-966-428-147-5 | |
|