|
Автор: Горячко А.М., Колесник О.Г., Кулик С.П., Мельник П.В., Находкін М.Г., Чичирко В.І.
-
Ключові слова:
п"єзотехніка, пьезотехника ; скануючий тунельний мікроскоп, СТМ, тунельний мікроскоп, сканирующий туннельный микроскоп, туннельный микроскоп
-
Анотація:
Описано конструкцію надвисоковакуумного сканую чого тунельного мікроскопу (СТМ) з покращеними системами грубого та тонкого позиціонування вістря. Система грубого позиціонування (підводу) мала за основу відому конструкцію типу "walker". Її модифікація включала введення тягнучої або штовхаючої магнітної сили на додаток до інерційної сили, що застосовувалась раніше. Це дозволило створити більш гнучку та надійну систему яка є толерантною до змін в робочому середовищі та специфіки застосованих у її виготовленні матеріалів. Система тонкого позиціонування (сканування) мала за основу п"єзосканер хрестоподібної геометрії. Розташування електродів на п"єзоелементах було покращено в порівнянні з оригінальною конструкцією, що виключило ефект деполяризації, який з часом погіршував роботу сканера. СТМ було протестовано при кімнатній температурі на зразку Si (ІІІ)-7х7 і було досягнуто атомної роздільної здатності.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
