інтегральні рівняння, интегральные уравнения ; іонна імплантація, ионная имплантация
Розвинуто метод розв'язку так званого оберненого транспортного рівняння Больцмана для функції просторового розподілу швидких іонів, імплантованих у тверде тіло. Він полягає у зведенні цього 3D інтегрального рівняння до ланцюжка одномірних рівнянь для кумулянтів функції розподілу. Вони отримані у зручному для чисельного роз'язання вигляді. Досліджено їх граничну поведінку при малих і великих непружних втратах енергії і встановлено зв'язок з теорією Лінхарда-Шарфа-Шіотта.
A method is proposed for solving of the so-called backward transport Boltzmann equation for function of the spatial distribution of fast ions implanted into solid. It lies in replacing of the 3D integral equation by a chain of one-dimensional equations for the distribution cumulants. These equations were received in a convenient form for numerical solution. Limiting behavior of them at small and large inelastic energy losses and their relation to the Lindhard-Scharf-Schi.tt theory was made.
