|
-
Ключові слова:
дифракційні гратки, дифракционые решётки ; дифракційна діагностика, дифракционная диагностика ; лазерні диски, лазерные диски
-
Анотація:
На основі запропонованої моделі поверхні компакт-диска реалізовано метод дифракційного контролю розмірів пітів. Показано, що вимірювання їх ширини з точність [+ чи -]1% досягається при врахуванні інтенсивності в першому і другому дифракційних порядках.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
