|
Автор: Мельниченко Л.Ю., Пророк В.В., Титарчук Б.Б., Шайкевич І.А., Шарапа А.І.
-
Ключові слова:
методи вимірювання, методы измерения ; оптичні властивості, оптические свойства ; шорсткі поверхні, шероховатые поверхности
-
Анотація:
Розроблена методика вимірювання еліпсометричних параметрів сильно шорстких поверхонь. Методика грунтується на виділенні когерентної компоненти інтенсивності відбитого світла шляхом віднімання від загальної інтенсивності відбитого світла інтенсивності некогерентної (природно поляризованої) компоненти. Методика розроблена для еліпсометричного методу Бітті. Застосування розробленої методики дозволило одержати спектральну залежність оптичної провідності шорсткої поверхні анодованого алюмінію і встановити, що в поверхневому шарі Al[нижній індекс 2]O[нижній індекс 3] присутні домішки окису хрому.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
|
