кремнієві структури, кремниевые структуры ; моделювання, моделирование, modelling ; технології, технологии

Розроблено оригінальні методи формування локальних нестандартних одно- і дворівневих тривимірних структур "кремній-на-ізоляторі" (КНІ), які за сумісними технологіями формування можуть бути комбіновані з одно- або дворівневими мікропорожнинами під поверхнею кремнієвою пластини. Проведено приладно-технологічне моделювання конструктивних та електрофізичних параметрів таких структур

Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка [Текст]. — Київ : ВІКНУ, 2011. — Вип. № 32. — 300 с.