|
-
Ключові слова:
методи розрахунку напруженого стану, методы расчета напряженного состояния ; напівпровідники на основі кремнію, полупроводники на основе кремния ; напружено-деформований стан твердого тіла, напряженно-деформированное состояние твердого тела ; термонапружений стан, термонапряженное состояние
-
Анотація:
В даній роботі показана можливість та наведені приклади застосування фотоакустичної (ФА) мікроскопії для вивчення пружно-напруженого стану напівпровідникових структур на основі кремнію. В експериментах було використано комп"ютеризований ФА мікроскоп з гармонічною модуляцією інтенсивності випромінювання Ar-ion лазера та п"єзоелектричною реєстрацією ФА сигналу. Теоретично досліджена роль пружно-напруженого стану в формуванні ФА контрасту для випадку іонно-легованих напівпровідникових структур.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 