|
-
Ключові слова:
алюміній, алюминий ; електронна структура (електронна структура виробу), електронная структура (электронная структура изделия) ; оптичні властивості, оптические свойства ; тонкі плівки, тонкие пленки, thin films
-
Анотація:
Проведено спектроеліпсометричні дослідження надтонких плівок алюмінію різной товщини. Результати обрахунків представлено у вигляді спектральних залежностей оптичної провідності [сигма]. Виявлені зміни структури плівок при їх виготовленні в залежності від товщини.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 