|
-
Ключові слова:
взаємодії в напівпровідниках, взаимодействия в полупроводниках ; рівняння стану, уравнения состояния ; термодинаміка незворотних процесів, термодинамика необратимых процессов
-
Анотація:
Розглядається задача визначення просторового розподілу імплантованої у напівпровідникову мішень домішки з урахуванням пружної взаємодії атомів. Розгляд проводиться на основі результатів феноменологічної теорії незворотніх процесів. Використання закону Маргулеса як статистично обгрунтованого рівняння стану дозволяє одержати результати поза рамками лінійного наближення по концентрації домішки.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 