|
-
Ключові слова:
зміни температурно-залежні ; напівпровіднікові полімерні плівки, полупроводниковые полимерные пленки ; напівпровідники на основі кремнію, полупроводники на основе кремния ; структурні перетворення, структурные преобразования
-
Анотація:
Методом просвічуючої електронної мікроскопії досліджено перетворення фасетування в зернах полікремнієвих плівок, що отримані методом хімічного осадження в реакторі зниженого тиску. Встановлено, що на вершинах двійників мають місце три типа перетворень фасетування. При температурі відпалювання І200[градусів]С спостерігалась некубічна фасетка 82[градусів]9 R.
The faceting transitions of twin tips in the interior of grains in polysilicon films, produced by low-pressure chemical vapor deposition have beeninvestigated by transmission electron microscopy. It has been shown that the there three kinds of faceting transition that take place in twin tips. The non-cubic facet 82[degree]9R has been observed at annealed temperature 1200[degree ]C.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 