методи вимірювання, методы измерения ; методи розрахунку напруженого стану, методы расчета напряженного состояния ; напівпровідники на основі кремнію, полупроводники на основе кремния

Запропоновано спосіб вимірювання величини внутрішніх напруг у поверхневих прошарках монокристалів і монокристалічних островків, розташованих у полікристалічних або інших матрицях. Виміряні величини внутрішніх напруг у автоепітаксіальних шарах кремнію, нанесених на різні підложки, а також у поверхневих шарах кремнієвих кишень, розташованих у матриці, яка складається з декількох шарів металів. Проведено порівняння одержаних результатів з даними вимірів внутрішніх напруг іншим способом.

Вісник Київського університету [Текст]. — Київ, 1992. — 1992.

• Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ