53 | Ваку | Аксенов, И. И. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование [Текст] / Аксёнов И.И. [и др.] ; под ред. И.И. Аксенова ; НАН Украины ; Нац. научный центр "Харьковский физико-техн. ин-т" ; Ин-т физики твёрдого тела, материаловед. и технологий. — Киев : Наукова думка, 2012. — 726, [2] с. : ил., табл. |
| ISBN 978-966-00-1134-2 | |
|