621.3 Броу Броудай, И.     Физические основы микротехнологии [Текст] / И. Броудай, Дж. Мерей. — Москва : Мир, 1985. — 494 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету	11	Перейти на сайт
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	1	Перейти на сайт
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . рфз - радіофізичний факультет	2	Перейти на сайт