кремнієві структури, кремниевые структуры ; розповсюдження звуку ; ультразвук ; фізика напівпровідників, физика полупроводников
Розроблена автоматизована система чисельного аналізу даних вимірювань параметрів анізотропії ультразвукових швидкостей, яка забезпечує урахування впливу будови текстур SiO2 та їх упорядкованості.
The automated system of the numerical analysis of anisotropy parameters measurings of ultrasound velocities are created, which provide the account of influence texture structure of SiO2 and their ordering.
