| Формування | Стеблова, О. В. Формування кремнієвих мікро- та наноструктур для електронної польової емісії [Текст] / О.В. Стеблова, О.Л. Братусь, Ю.М. Педченко, А.А. Євтух // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології : науково-технічний журнал. — Одеса, 2016. — Т. 13, № 4. — С. 114-121. |
| | |
|