53 Вали Валиев, К. А.     Физика субмикронной литографии [Текст] / К.А. Валиев. — Москва : Наука, 1990. — 527,1с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н-I - контрольний примірник	1	Перейти на сайт