6 | Леон | Леонов, Сергей Александрович. Осаждение ионно-плазменных покрытий из хаотизированных потоков плазмы вакуумной дуги [Текст] : препринт ХФТИ 2013-4 / С.А. Леонов, В.М. Хороших ; [ред А.И. Нагорна] ; Нац. науч. центр "Харьк. физ.-техн. ин-т". — Харьков : ННЦ ХФТИ, 2013. — 55, [2] с., включ. обл. : ил. |
| | |
|