Наведені результати аналізу, досліджень та розробок датчиків механічних величин та напівпровідникових газових датчиків на основі наноматеріалів. Для реалізації датчиків механічних величин використані ниткоподібні кристали кремнію. Напівпровідникових газові датчики реалізуються з використанням шару нанопористого кремнію. Наводяться технології отримання наноматеріалів, їх властивості та параметри датчиків на їх основі. Дані датчики можуть бути використані як для військового, так і цивільного застосування.
Приведены результаты анализа, исследований и разработок датчиков механических величин и полупроводниковых газовых датчиков на основе наноматериалов. Для реализации датчиков механических величин использованы нитевидные кристаллы кремния. Полупроводниковых газовые датчики реализуются с использованием слоя нанопористого кремния. Наводятся технологии получения наноматериалов, их свойства и параметры датчиков на их основе. Данные датчики могут быть использованы как для военного, так и гражданского применения.
Results of the analysis, researches and workings out of gauges of mechanical sizes and semi-conductor gas gauges on a basis of nanomaterials are resulted. For realisation of gauges of mechanical sizes threadlike crystals of silicon are used. Semi-conductor gas gauges are realised with layer use nanopores silicon. Technologies of reception of nanomaterials, their properties and parametres of gauges on their basis are directed. The given gauges can be used as for the military man, and civil application.
