The Monte Carlo computer simulation program of the magnetron sputtering device with two erosion zones was build, in which the searching algorithm of the self-consistent starting positions of the secondary electrons on cathode was introduced. For the verification of the simulation results the zoned test target for the magnetron sputtering device was designed, which provides the measurements of the discharge current distributions along it surface. The comparison of the experimental results to the simulation demonstrates their compliance in the identical conditions.
Побудовано комп'ютерну модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії, засновану на методі Монте-Карло, де введено алгоритм пошуку самоузгоджених стартових позицій вторинних електронів на катоді. Для перевірки результатів комп'ютерного моделювання було виготовлено зоновану тестову мішень для даного магнетронного розпилювального пристрою, яка забезпечила вимірювання розподілів розрядного струму по своїй поверхні. Порівняння результатів експерименту та моделювання продемонстрували їх відповідність за однакових умов.
Построена компьютерная модель магнетронного распылительного устройства с двумя зонами эрозии, основанная на методе Монте-Карло, в которой введен алгоритм поиска самосогласованных стартовых позиций вторичных электронов на катоде. Для проверки результатов компьютерного моделирования была изготовлена зонированная тестовая мишень для данного магнетронного распылительного устройства, которая обеспечила измерения распределений разрядного тока по своей поверхности. Сравнение результатов эксперимента и моделирования продемонстрировало их соответствие при одинаковых условиях.
