-
Ключові слова:
кремній, кремний ; наноструктури, наноструктуры ; тонкі плівки, тонкие пленки, thin films ; нанокристалічний кремній ; напівпровідники, полупроводники
-
Теми документа
-
ББК науковий // Квантові кристали. Кріокристали. Невпорядковані тверді тіла
-
ББК науковий // Тонкі шари напівпровідників
|