діелектричні хвилеводи, диэлектрические волноводы, dielectric waveguide ; оптична спектроскопія, оптическая спектроскопия ; поверхневі поляритони, поверхностные поляритоны ; світлодіоди, светодиоды, LED - light-emitting diode ; фотолітографія, фотолитография

Проаналізовано методи отримання хвилеводів на діелектрично-неоднорідних

структурах "закритого" та "відкритого" типу. Запропоновано і досліджено, для формування хвилеводів "відкритого" типу, метод поетапної оптичної фотолітографії з використанням як джерела світла світловипромінюючого діода (СВД) з довжиною хвилі 410 нм та 365 нм. Розроблено технологію виготовлення шаблона і маски для отримання хвилеводів різної конфігурації і необхідних розмірів. Запропонований метод має високу роздільну здатність, щозабезпечує необхідні розміри хвилеводів для збудження плазмон-поляритонів.

Науковий вісник Українського державного лісотехнічного університету [Текст] : збірник науково-технічних праць. — Львів, 1999. — Вип. 9.6.