53 | Бара | Барабаш, Максим Юрійович. Формування наноструктур на темплатах випромінюванням із видимого діапазону [Текст] / М.Ю. Барабаш, Д.О. Гринько, С.О. Сперкач ; НАН України, Техн. центр НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. — Київ : ІМФ НАНУ, 2015. — 202, [2] с. : іл. |
| ISBN 978-966-02-7725-0 | |
|