621.3
Крит	Критская, Татьяна Владимировна.     Современные тенденции получения кремния для устройств электроники [Текст] : монография / Т.В. Критская ; М-во образования и науки Украины, Запорож. гос. инженер. акад. — Запорожье : ЗГИА, 2013. — 353, [1] с. : ил., табл.
ISBN 978-966-8462-87-0