А | Фера | Ферапонтов, Александр Петрович. Глубокая очистка эфирата триметилгаллия, используемого в технологии полупроводниковых материалов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.16 / Ферапонтов Александр Петрович ; Москов. ин-т электрон. техники. — Москва, 1979. — 24 с. |
| | |
|