Зведений каталог бібліотек Києва

 

А
ФераФерапонтов, Александр Петрович.
    Глубокая очистка эфирата триметилгаллия, используемого в технологии полупроводниковых материалов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.16 / Ферапонтов Александр Петрович ; Москов. ин-т электрон. техники. — Москва, 1979. — 24 с.


- Ключові слова:

епітаксія, эпитаксия ; напівпровідникові структури, полупроводниковые структуры

- Теми документа

  • ББК науковий // Кристалізація напівпровідників
  • ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова 1 Перейти на сайт