А | Швед | Шведова, Вера Владимировна. Исследование тенденций и прогнозирование развития эпитаксиальных процессов в технологии микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Шведова Вера Владимировна ; Москов. ин-т электронной техники. — Москва, 1979. — 21 с. |
| | |
|