Зведений каталог бібліотек Києва

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

А
НикиНикифоренко, Николай Николаевич.
    Исследование процессов удаления фоторезиста и травления окисла кремния в плазме высокочастотного индукционного разряда [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Никифоренко Николай Николаевич ; Ин-т физики АН БССР. — Минск, 1980. — 16 с.

- Ключові слова:

інтегральні схеми, интегральные схемы

- Теми документа

  • ББК науковий // Інтегральні мікросхеми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова 1 Перейти на сайт