Зведений каталог бібліотек Києва

 

А
ФомиФомин, Борис Ивановач.
    Исследование кинетики роста фаз в системах, применяемых в производстве ИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Фомин Борис Ивановач ; Москов. ин-т электронной техники. — Москва, 1980. — 22 с.


- Ключові слова:

інтегральні схеми, интегральные схемы ; тонкі плівки напівпровідників, тонкие пленки полупроводников

- Теми документа

  • ББК науковий // Інтегральні мікросхеми
  • ББК науковий // Тонкі шари напівпровідників



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова 1 Перейти на сайт