Зведений каталог бібліотек Києва

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

А
ВишнВишнева, Татьяна Ивановна.
    Исследование физико-химических процессов анизотропного и селективного по степени легирования травления кремния и их применение в технологии микроэлектроники [Текст] : автреф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Вишнева Татьяна Ивановна ; Москов. ин-т электронной техн. — Москва, 1979. — 23 с.

- Ключові слова:

кремній, кремний ; мікроелектроніка, микроэлектроника, mikroelektronika

- Теми документа

  • ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
  • ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова 1 Перейти на сайт