А | Копт | Коптенко, Валерий Михайлович. Исследование процесса получения металлических пленок методом электроннолучевого испарения и разработка технологиии металлизации больших интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Коптенко Валерий Михайлович ; Киев. политехн. ин-т. — Киев, 1980. — 24 с. |
| | |
|