Зведений каталог бібліотек Києва

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

А
БасоБасовский, Андрей Андреевич.
    Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.16 / Басовский Андрей Андреевич ; М-во высш. образования СССР ; Москов. ин-т электрон. техники. — Москва, 1978. — 27 с.

- Ключові слова:

напівпровідники, полупроводники ; тонкі плівки напівпровідників, тонкие пленки полупроводников

- Теми документа

  • ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби
  • ББК науковий // Тонкі шари напівпровідників



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова 1 Перейти на сайт