621.3 Резв Резвый, Р. Р.     Эллипсометрия в микроэлектронике [Текст] / Р.Р. Резвый. — Москва : Радио и связь, 1983. — 120с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету	3	Перейти на сайт
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	1	Перейти на сайт