53 Табл     Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей (теория, метод расчета, таблицы). [Текст]. — Минск : Издательство Белорусского университета, 1980. — 351с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	1	Перейти на сайт