Автор: Поут Дж., Ту К., Мейер Дж., Розенберг Р., Салливан М.
-
Ключові слова:
тонкі плівки, тонкие пленки, thin films
-
Теми документа
-
ББК науковий // Електроенергетика. Електротехніка
-
ББК науковий // Фізика
-
ББК науковий // Фізична хімія. Хімічна фізика
|