Зведений каталог бібліотек Києва
621.3ЧернЧерняев, А. В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / А.В. Черняев. — Москва : Радио и связь, 1990. — 85с.
- Теми документа