621.3 Чехо Чехович, Е. К.     Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники [Текст] / Е.К. Чехович. — Минск : Наука и Техника, 1989. — 212с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	1	Перейти на сайт